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簡(jiǎn)析用于直線電機(jī)晶圓切片的高精度激光加工

文章來(lái)源：東莞希思克傳動(dòng)科技有限公司    發(fā)布日期：2022-12-17    瀏覽：367次

制造芯片和微芯片涉及使用稱(chēng)為晶圓切片的工藝將晶圓切割成小方塊或矩形“芯片”或“晶?！?。直線電機(jī)晶圓切片應(yīng)用中需要考慮的典型挑戰(zhàn)包括：準(zhǔn)確定位切口。較大限度地減少材料損耗和較大限度地減少元件變形。同時(shí)，直線電機(jī)必須達(dá)到最大可能的加工速度。隨著要求的不斷提高，激光劃片已成為首選的劃片技術(shù)。這種非接觸式激光工藝很靈活，可避免切削刃處的破損。借助于各種自動(dòng)后加工工藝，可以進(jìn)一步改善邊緣的良好質(zhì)量，這也是抗裂性的決定性因素之一。這顯著減少了生產(chǎn)浪費(fèi)，因此節(jié)省了生產(chǎn)成本。相應(yīng)地，直線電機(jī)激光劃片工藝同樣需要在高速下提供高精度和高直線度的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。

該運(yùn)動(dòng)解決方案的主要特點(diǎn)：

1. 直接驅(qū)動(dòng)帶有空氣軸承的線性和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)極限精度；

2. 高直線度、平面度和重復(fù)精度；

3. 消除齒槽效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的速度控制；

4. 拖鏈電纜管理

5. 在晶圓工作點(diǎn)提供計(jì)量；

6. 全天候以高占空比運(yùn)行；

7. 絕對(duì)編碼器消除了參考，同時(shí)提高了運(yùn)行期間的效率和安全性。

系統(tǒng)由旋轉(zhuǎn)軸、掃描軸和運(yùn)動(dòng)控制所組成。

（1）旋轉(zhuǎn)軸用于晶圓的定位和校正：

A、空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái)

B、直接驅(qū)動(dòng)無(wú)齒槽效應(yīng)運(yùn)動(dòng)

C、優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)精度、平面度和擺動(dòng)性能

D、高剛性和高負(fù)載能力

E、無(wú)塵室兼容

F、帶空氣軸承的A-623Plglide轉(zhuǎn)臺(tái)。

（2）掃描軸：

A、XY平面空氣軸承平臺(tái)

B、高速度和高加速度

C、優(yōu)異的幾何性能

D、分辨率達(dá)1納米

E、適合于有限安裝空間的低剖面

F、無(wú)塵室兼容

G、帶空氣軸承的A-311Plglide平面掃描儀。

（3）直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制：

高性能EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制器采用19英寸機(jī)架，集成了驅(qū)動(dòng)器、電源和功能安全性。

A、A-814Plglide運(yùn)動(dòng)控制器

B、NanPWM驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)跟蹤誤差和較佳速度NanoPWM驅(qū)動(dòng)器

C、先進(jìn)的伺服控制算法

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