通常劃片機(jī)劃切工件為圓形或方形的硬。脆和薄的材料,如硅晶圓、藍(lán)寶石基片等。劃片機(jī)在軟件系統(tǒng)控制下,可通過伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)X、Y、Z三個(gè)方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)以及Q軸向的轉(zhuǎn)動(dòng),按照預(yù)設(shè)尺寸講工件分離。
劃片機(jī)的切割原理是強(qiáng)力磨削的執(zhí)行單元是空氣靜壓點(diǎn)主軸單元,其完成自動(dòng)上、下料的晶圓傳輸定位系統(tǒng),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)及自動(dòng)清洗系統(tǒng)是自動(dòng)劃片機(jī)的關(guān)鍵。通常劃片機(jī)在配件方面會(huì)采用高精密配件,Q軸采用DD馬達(dá),重復(fù)精度±2arcsec,可達(dá)到極強(qiáng)的穩(wěn)定性效果。
在精密的切割工藝上,全自動(dòng)精密劃片在應(yīng)用中發(fā)揮重要的角色,而DD馬達(dá)最在自動(dòng)精密劃片機(jī)有著極其重要的位置。
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