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東莞希思克簡析H型直線電機平臺結構和性質

文章來源：東莞希思克傳動科技有限公司    發(fā)布日期：2021-12-31    瀏覽：744次

H型直線電機平臺驅動的直線運動系統(tǒng)，比起傳統(tǒng)的”旋轉電機+絲杠”組合結構，直線運動系統(tǒng)具有更高的動態(tài)性能和傳動精度，同時代表著直線驅動技術的發(fā)展方向。在同步驅動過程中，橫梁的最大扭轉角度誤差小于90 urad，雙邊直線傳動的H型運動平臺可以提供強大的推力，可以有效避免單邊驅動帶來的運動滯后和機械振蕩。平臺基座采用結構剛度大、平整度高的花崗巖材料，橫梁采用工程陶資等輕質、高剛度材料。兩端分別與兩個相互平行的直線電機的動子連接，實現(xiàn)Y方向的雙邊同步驅動，X方向直線電機的定子安裝在橫梁上，動子與滑塊固接，實現(xiàn)X軸方向的運動。

直線電機驅動的H型平臺因其有大的行程范圍和高的定位精度，被廣泛應用于半導體光刻、微型機械等領城。在實際應用過程中，由于在制造與安裝過程中存在誤差，以及工作過程中存在的不確定性擾動等因素的影響，導致即使兩個完全相同的直線電機和伺服系統(tǒng)，也不能完全保證橫梁兩端的同步運動。因此實現(xiàn)雙驅動的高精度同步控制是H型平臺的控制重點和難點。所以，有絕大部分廠商都是做的單邊驅動，另一端直接用導軌滑塊來確保同步性。東莞希思克傳動科技有限公司設計雙邊同步控制系統(tǒng)，使用兩臺相同的直線電機以保證系統(tǒng)具有高速動態(tài)同步響應能力，使用并聯(lián)控制與模組邏輯反饋相結合的方法來消除機械耦合的影響，力求減小雙邊同步控制的誤差，從而達到同步控制的效果。

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