集成電路市場(chǎng)巨大，半導(dǎo)體設(shè)備銷售受限，直線電機(jī)及光刻機(jī)如何破局重生

文章來源：東莞希思克傳動(dòng)科技有限公司    發(fā)布日期：2020-3-25    瀏覽：1342次

2018年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)容量為868億美金，產(chǎn)出率為13%，在集成電路芯片領(lǐng)域甚至是更低，約為5%。針對(duì)關(guān)鍵技術(shù)被卡脖子的困境，中國(guó)唯有自身研制開發(fā)才是攻克之法，國(guó)家大股票基金二期宣布在這種現(xiàn)象下問世的。

國(guó)家大股票基金二期潛心項(xiàng)目投資的重中之重領(lǐng)域之一就是說半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)備，例如光刻技術(shù)、刻蝕機(jī)、塑料薄膜設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等，其生產(chǎn)加工精度能夠做到亞μm級(jí)甚至是納米級(jí)，在這類精度規(guī)定下，一般的馬達(dá)沒辦法符合要求。當(dāng)下，最優(yōu)秀的光刻機(jī)、封裝檢測(cè)設(shè)備、激光切割設(shè)備等均選用直線電機(jī)做為傳動(dòng)裝置。

直線電機(jī)是一種將電能直接轉(zhuǎn)化成直線運(yùn)動(dòng)機(jī)械動(dòng)能，而無需任何中間轉(zhuǎn)化機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)裝置。它能夠看作是一臺(tái)旋轉(zhuǎn)電機(jī)按徑向割開，并生成成平面。在直線電機(jī)中，等于旋轉(zhuǎn)電機(jī)定子的，叫初中級(jí)，等于旋轉(zhuǎn)馬達(dá)轉(zhuǎn)子的，叫次級(jí)線圈。初級(jí)中通以交流，次級(jí)線圈就在電磁力的功效下順著初級(jí)做勻速直線運(yùn)動(dòng)。

在ic芯片制造加工廠，高精度光刻技術(shù)一般放置在10層凈化室，直線電機(jī)用于xy定位平臺(tái)，納米像素維持亞m層精度。除此之外直線電機(jī)在控制面板、診療等領(lǐng)域也愈來愈火爆，由于相對(duì)于過去的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，直線電機(jī)具備非常大的優(yōu)點(diǎn)，詳細(xì)如下：

構(gòu)造簡(jiǎn)易，體型小。直線電機(jī)根據(jù)以較少的零部件數(shù)量來保持直線驅(qū)動(dòng)，并且是只存有一個(gè)運(yùn)動(dòng)的配件；

維護(hù)保養(yǎng)簡(jiǎn)易，使用期長(zhǎng)。因?yàn)榕浼?，運(yùn)動(dòng)時(shí)無機(jī)械設(shè)備觸碰，進(jìn)而大幅度降低了零部件的損壞，只需非常少甚至是無需維護(hù)保養(yǎng)，使用期更長(zhǎng)；

行程大。運(yùn)作的行程在基礎(chǔ)理論上是不會(huì)受到其他限定，并且其特性不容易由于其行程的尺寸更改而遭受干擾；

滑動(dòng)摩擦力不大。沒有機(jī)械設(shè)備觸碰，傳動(dòng)力是在氣隙中生成的，除去直線電機(jī)直線導(dǎo)軌之外沒有其他的磨擦；

瞬時(shí)速度非常大。最大的達(dá)到10g；

運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定。這是由于除去起支撐作用的直線滑軌或氣浮滾動(dòng)軸承外，沒有其他機(jī)械連接或轉(zhuǎn)化設(shè)備的原因；

轉(zhuǎn)速運(yùn)作區(qū)間大。其運(yùn)行能夠給出很寬的轉(zhuǎn)速運(yùn)作區(qū)間，其覆蓋包涵從每秒鐘幾微米到數(shù)米，尤其是在髙速情況下是其一個(gè)顯著的優(yōu)勢(shì)；

精度和反復(fù)精度高。由于清除了干擾精度的環(huán)節(jié)，系統(tǒng)的精度在于位置檢驗(yàn)部件，有恰當(dāng)?shù)姆答佋O(shè)備可達(dá)亞μm級(jí)甚至是納米級(jí)。直線電機(jī)的精度特性要大大好于旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲桿。

環(huán)境污染小，可運(yùn)用在凈化室。直線電機(jī)無需潤(rùn)滑液。潤(rùn)滑液也屬于污染物。

當(dāng)下直線電機(jī)70%之上的銷售市場(chǎng)主要被毆美日企業(yè)品牌占有，如力土樂Rexroth、科爾摩根Kollmogen、派克Parker、西門子PLCSiemens、安川電機(jī)Yaskawa、山洋馬達(dá)Sanyo等企業(yè)品牌，中國(guó)僅有雅科貝思、上銀、天雄等個(gè)別企業(yè)品牌，并且在質(zhì)量上仍沒法與國(guó)際品牌市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。

將來，隨著智能制造系統(tǒng)和高新技術(shù)設(shè)備的大區(qū)間運(yùn)用，對(duì)設(shè)備明確提出了更高的精度規(guī)定，直線電機(jī)在其中發(fā)揮越來越重要的效果。特別是在是在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，為了攻克海外封禁，唯有研制開發(fā)自有品牌的高精度直線電機(jī)及光刻技術(shù)、刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備等半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備才可以使我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不會(huì)受到海外牽制，順利讓中國(guó)人用到“中國(guó)芯”。

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